在納米級別的芯片制造世界中,一顆比人類頭發絲細小數百倍的顆粒物,就足以導致整個電路短路,造成巨大的財務損失。因此,對電子特性和超純水 純度的追求,是半導體工廠的核心任務。折疊過濾膜正是在這些“生命線"工藝中守護純凈的關鍵屏障。
顆粒物影響芯片良率
氣體中的顆粒物:會導致晶圓表面產生缺陷,影響光刻、刻蝕和薄膜沉積的精度。
超純水中的顆粒物:在清洗環節若殘留顆粒,會直接附著在晶圓上,導致線路短路或開路。
半導體制造對雜質控制達到了原子級別。海普折疊過濾膜在以下環節扮演著“凈化衛士"的角色:
折疊過濾膜在半導體行業中的應用場景
1. 電子特氣過濾:從源頭杜絕污染
半導體制造需要使用上百種高純度、高價值的特種氣體。海普高性能折疊過濾膜被安裝在氣瓶出口、閥門和工藝工具入口等關鍵點:
? 高效去除顆粒物:能有效過濾掉0.01微米甚至更小尺寸的顆粒。
? 低析出、低釋氣:采用半導體級材料,確保自身不會向高純氣體中釋放金屬離子或有機污染物,避免二次污染。
? 能耐受腐蝕性、易燃易爆的特種氣體,保障生產安全。
2. 超純水系統終端拋光過濾
在經過反滲透、EDI和紫外線殺菌后,超純水在進入工藝設備前,需要經過一道“精雕細琢"。海普高通量折疊濾芯在此環節至關重要:
? 深度去除水中殘留的膠體、硅顆粒和細菌尸體。
? 極低的溶出物:濾芯經過嚴格的超純水清洗和包裝,確保其不會向水中釋放任何離子或有機物,保障水質穩定在18.2 MΩ.cm。
? 高通量設計:滿足芯片廠連續、大量的用水需求。